VAC-W系列HMDS預(yù)處理烘箱
VAC-W系列HMDSyuchuli真空烤箱用于在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理。設(shè)備由腔體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過多次預(yù)抽真空，150oC熱氮加熱，既能達(dá)到使硅片表面干燥、潔凈的效果，又能夠有效的防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴(kuò)散，并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面開成HDMS保護(hù)膜，從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比，具有重復(fù)性好，節(jié)省藥液，環(huán)保，對(duì)人體無害的顯著優(yōu)點(diǎn)；也可用于晶片其它工藝的清洗。控制采用PLC，人機(jī)界面采用觸摸屏，具有可靠性高，操作方便、直觀等特點(diǎn)。
標(biāo)準(zhǔn)功能：
u LCC臨時(shí)高達(dá)500°F（260°C）的LCD溫度。高達(dá)662°F（350°C）
u 真空度可達(dá)1托（133Pa）
u 不銹鋼內(nèi)部和外部，所有內(nèi)部接縫連續(xù)焊接在絕緣側(cè)，以保護(hù)腔室免受污染
u 制具有大型LCD顯示屏，集成數(shù)據(jù)記錄功能和USB端口，可實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單的烤箱設(shè)置和數(shù)據(jù)導(dǎo)出
u Modbus通信連接，用于遠(yuǎn)程監(jiān)控和記錄
u 循環(huán)結(jié)束和高限制聲光報(bào)警
u 可編程門鎖
u 開放式控制面板
選項(xiàng)：
u 數(shù)據(jù)采集軟件
u 無油真空泵
u 自動(dòng)HMD添加裝置
u 符合CE標(biāo)準(zhǔn)
